중국 내 사업 입찰 공고를 공유하는 차이나비딩에 따르면 비전옥스는 이온 도핑 장비 입찰 공고를 냈다.
이온 도핑 장비는 저온다결정실리콘(LTPS)·저온다결정실리콘산화물(LTPO) 박막트랜지스터(TFT) 소자 특성 개선을 위해 가스 형태로 이온을 주입하는 장비다. OLED 공정 핵심 장비 중 하나로, 일본 닛신이 주도하고 있는 분야다.
비전옥스가 8.6세대 OLED 관련 장비를 발주 낸 건 처음이다. 이제 본격적인 8.6세대 생산라인 구축에 뛰어든 것으로 풀이된다.
비전옥스는 지난해 8월 안후이성 허페이시 지방정부와 합작으로 550억위안(약 11조원)을 투자해 8.6세대 유리원장(2290㎜×2620㎜) 기준 월 3만2000장을 생산할 수 있는 OLED 공장을 건설한다고 발표했다. 9월에는 기공식도 열었지만 실제 설비 투자는 미뤄왔다.
비전옥스는 11월부터 장비 업체들과의 본격적으로 접촉하며 설비를 준비했는데, 이제 구체적 사양과 대상 업체를 정하고 구매에 나선 것으로 풀이된다.
관심이 집중되는 증착기는 3월께 윤곽이 잡힐 전망이다. 증착기는 OLED에서 화소를 형성하는 핵심 장비다. 비전옥스가 도입을 추진 중인 파인메탈마스크(FMM) 방식 증착기 공급에는 현재 선익시스템과 캐논토키가 경쟁 중이다.
한 디스플레이 업계 관계자는 “선익시스템에 BOE를 놓친 캐논토키가 비전옥스 증착기 수주에 사활을 걸고 있다”며 “3월께 업체가 선정될 것으로 예상된다”고 말했다.
또 다른 관계자는 “비전옥스가 지방정부로부터 80%의 투자 자금을 지원받고 있어 설비를 결정해야 하는 기한이 정해져 있는 것으로 안다”고 전했다.
비전옥스는 FMM을 사용하는 증착기와 FMM이 없는 오픈마스크 방식인 ‘ViP’를 동시 적용하는 것을 검토 중이다. 목표한 생산규모(월 3만2000장)를 소화하려면 8.6세대 하프컷 증착기가 4대가 필요한 데, 이 중 3대를 FMM 방식을 채택할 가능성이 제기된다.
FMM은 화소를 기판 위에 원하는 위치에 증착하기 위해 얇은 막에 구멍을 낸 소재다. 오픈마스크는 적(R)·녹(G)·청(B) 화소를 기판 위에 증착할 때 마스크를 사용하지 않는 것을 뜻한다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
